
Wafere ısıtıcılarının dağılmasını engelleyin
Yüksek yük altında çalışan wafere ısıtıcılarında lambaların patlaması korkunç bir durumdur. Sorun sadece üretimin durması değil; aynı zamanda temizlik işlemleridir. Kuvars kaplama patladığında, cam parçaları ve metal parçacıklar wafere düşer. Böylece ürünler bozulur ve siz de saatlerce o odanın temizlenmesiyle uğraşmak zorunda kalırsınız.
Biz, bunun olmaması için ısıtıcılarımızı özel şekilde tasarlıyoruz.
Isı stresiyle başa çıkma
Çoğu lamba, sürekli genleşme ve büzülme durumlarına dayanamadığı için bozulur. Bunu önlemek için yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Bu malzeme oldukça dayanıklıdır ve hızlı genleşme/büzülme döngüleri sırasında bile çatlamaz.
Ayrıca, tüpün kalınlığını da dikkatlice ayarlıyoruz. Isının verimli bir şekilde iletilmesini sağlamak istiyoruz, ancak tüpün de güçlü olması gerekiyor. Eğer ince bir tüp için gücü çok yüksek ayarlarsanız, elektrotlar zarar görür ve contalar çok erken bozulur.
Bir güvenlik ağı oluşturma
En iyi kuvars malzemeler kullanılsa bile hâlâ sorunlar ortaya çıkabilir. Bu yüzden sadece bir kat korumaya güvenmiyoruz.
İkincil bir koruma stratejisi kullanıyoruz; yani filamenti saran özel bir kaplama veya koruyucu katman kullanıyoruz. Eğer iç tüp patlarsa, enkaz kaplamanın içinde kalır ve wafere ulaşamaz. Bu, temiz oda için bir sigorta poliçesi gibidir.
Gücün sabit kalmasını sağlama
Gerilim dalgalanmaları tehlikeli olabilir. Bu yüzden uç kısımlardaki contaları güçlendirdik ve hassas bağlayıcılar kullandık böylece temas noktalarında herhangi bir arka akım oluşmaz.
Neden bu önemli? Çünkü gevşek bağlantılar sıcak noktalar oluşturur. Bu sıcak noktalar zamanla kuvarsı zayıflatır ve genellikle çatlakların başladığı yer burasıdır.
Dürüst olmak gerekirse, bu güvenlik katmanlarının eklenmesiyle ısı kaynağı ile wafe arasında biraz daha fazla malzeme oluşur. Bu da tamamen açık bir lambaya kıyasla ısı akışında hafif bir düşüşe neden olur.
Prosesin istenilen seviyede kalması için gücü biraz artırmanız veya bekleme sürelerini ayarlamanız gerekebilir. Bu, hafta sonlarınızı kirli bir odayı temizleyerek geçirmemeniz için küçük bir bedeldir.