เลิกสูญเสียพลังงานไปโดยเปล่าประโยชน์เถอะ เมื่อคุณกำลังทำการอบแห้งแผ่นวัสดุ มักจะคิดว่ายิ่งใช้พลังงานมากเท่าไหร่ ผลลัพธ์ก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น...

Out on the fab floor, the photoresist profile is nailed down during soft bake and hard bake. A half-degree drift across the wafer is enough to shift...