Como aquecer wafers de silício sem estragar sua sala limpa
Quando se trabalha em uma sala limpa de classe 100, até mesmo um único grão de poeira pode ser um desastre. Se você estiver aquecendo wafers de silício, não pode permitir que materiais se soltem ou gases sejam liberados no ar. Elementos de aquecimento convencionais? Esqueça-os. Eles liberam partículas, e nesse ambiente isso é inaceitável.
É por isso que usamos lâmpadas infravermelhas feitas de quartzo sintético de alta pureza.
O segredo está no quartzo.
Usamos sílica fundida com quase zero impurezas. Por quê? Porque, quando as coisas esquentam, não queremos que substâncias químicas se libertem. O revestimento de quartzo funciona como um selo hermético ao redor do filamento de tungstênio. Isso impede que o filamento reaja com o ar, evitando assim a formação de óxidos metálicos que possam cair sobre os wafers.
Mas há um detalhe importante: a distância. Se a lâmpada for instalada muito perto, ela pode danificar o wafer ou criar pontos quentes. Se for colocada muito longe, será apenas um desperdício de energia, pois o calor se dissipará no ar do ambiente. Utilizamos lâmpadas de ondas curtas infravermelhas. É uma maneira mais eficiente de aquecer, pois o calor vai direto para o substrato do wafer, em vez de aquecer todo o ambiente.
Algumas coisas a considerar.
Essas lâmpadas geram muito calor. A densidade térmica é enorme, então o tempo de aquecimento é extremamente rápido. Mas isso exerce grande pressão sobre o fornecimento de energia. Verifique cuidadosamente os fios e conectores. Se eles não forem adequados para a potência necessária, eles vão queimar nos terminais.
Além disso, lembre-se de que o quartzo de alta pureza é frágil. Não é algo que se possa manipular com descuido. Se você for muito brusco durante a instalação, podem surgir micro-rachaduras. Talvez você não perceba isso no início, mas, à medida que a lâmpada começa a variar de temperatura, ela pode quebrar.
Manter o ambiente completamente livre de poeira.
Para garantir que não haja contaminação alguma, removemos todos os ligantes e adesivos orgânicos. Tudo no conjunto é inorgânico.
Isso é muito importante. Significa que não há período de “queima” inicial. Você não terá aqueles compostos orgânicos voláteis circulando pelo ambiente assim que ligar a lâmpada.
Basta conectar a lâmpada, ajustar a distância correta e pronto.