Temperatuursensor voor waferapparaat
Op de lijn ligt die 300 mm wafer te wachten op de soft bake die jouw lijnbreedteregeling vastlegt. Een afwijking van 2°C in het hotplate-profiel? Dat...
Reflector voor wafer uithardingslamp
Out on the fab floor wordt het fotoresistprofiel vastgelegd tijdens de soft bake en hard bake. Een afwijking van een halve graad over de wafer is...