Tungstenvilamkwartslamp

Fri, 03 Jul 2026 08:46:44 +0800

Op de productielijn zorgt een technologie van 5 nm ervoor dat er geen problemen ontstaan wanneer de thermische uniformiteit afneemt. Het drogen van de wafer, evenals het zacht en hard bakken, vereisen een constante temperatuur. Als de lamp niet meer optimaal presteert, kunnen er problemen optreden als randproblemen, zwakke hechting of oneffenheden op het oppervlak van de wafer. Dit kan leiden tot het verlies van hele batches productie.

Wat technisch gezien belangrijk is: Onze kwartslampen met wolframfilamenten genereren kortegolf-infraroodlicht dat goed door water en photoresist heen dringt. Hierdoor kan het oplosmiddel effectief worden verwijderd, zonder dat dit schade toebrengt aan het polymermateriaal. De geometrie van het filament en de kwartskroon zijn zo ontworpen dat de uitstoot constant blijft, zelfs na duizenden uren gebruik. In de verlichte zone wordt de temperatuur op het niveau van de wafer gehouden bij ±0,1°C. De herhaalbaarheid van het proces blijft hoog. Het ontwerp zorgt voor minimale hoeveelheden partikels, en de materialen zijn geschikt voor gebruik in steriele omgevingen van klasse 1.

Tungsteen on Top-Rated Quartz IR Lamps

Tungstenvilamkwartslamp