http://top-quartz-ir.com/nl/tags/temperatuur/ Recent content in Temperatuur on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo nl Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/nl/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/nl/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Temperatuursensor voor waferapparaat"></p> <p>Op de lijn ligt die 300 mm wafer te wachten op de soft bake die jouw lijnbreedteregeling vastlegt. Een afwijking van 2°C in het hotplate-profiel? Dat is genoeg om de <a href="https://o-yate.net">kritische</a> dimensie met meer dan 1 nm te verplaatsen, en elke cyclus die afwijkt is weer een batch die richting de afvalstapel gaat. We hebben onze temperatuursonde voor wafers precies voor deze omgeving ontworpen, waar het thermische budget geen aanbeveling is, maar een harde grens.</p> <p><strong>Wat er onder de motorkap telt</strong><br> Je krijgt ±0,1°C stabiliteit over het volledige bake-venster van 200–250°C, met kalibratie die traceerbaar is naar NIST. De responstijd is minder dan 150 ms, zodat gesloten-lusregeling setpointverschuivingen kan opvangen voordat de fotoresist begint te driften. De sondelichaam is van kwarts en roestvrij staal, afgedicht met een epoxy met lage uitgassing, en is geschikt voor Class 1–100 cleanrooms met deeltjesgeneratie onder 0,1 deeltje/cm². De uitgang is 4–20 mA met RS-485 en Modbus RTU, en de 1/4-20 schroefdraadmontage past rechtstreeks in standaard hotplates van wafertooling—adapterplaten zijn niet nodig.</p>