Op de productielijn is een temperatuurstijging van 0,1°C tijdens het drogen van de fotoresist al voldoende om de uniformiteit van de afbeeldingen en de CD-kwaliteit te verstoren. Eén dergelijke storing kan uren aan werk in de lithografieprocesen tenietdoen. Daarom hebben we een SCR-stroomregelaar ontworpen voor de lamp, zodat de temperatuur constant blijft – shift na shift, jaar na jaar.
Wat technisch gezien belangrijk is: we maken gebruik van een siliciumgecontroleerde rectifier met een gesloten feedbackloop voor de lamp. Hierdoor blijft de uitgangsspanning stabiel, zelfs wanneer deze fluctueert. De gewenste temperatuur blijft binnen ±0,1°C gedurende het hele proces. Hierdoor kunnen de verschillende stappen in het proces nauwkeurig worden uitgevoerd.
Het apparaat is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Er wordt geen vuil gegenereerd en er vindt geen uitstoot van gasen plaats, zodat alle specificaties worden nageleefd. Door het corrigeren van de vermogensfactor en het efficiënt gebruik van energie, wordt de energieverbruik verminderd. Bovendien kan de lamp snelle temperatuurschommelingen doorstaan zonder dat er scheuren of delaminatie optreedt.
Waarom dit werkt in het proces van het bewerken van chips: thermale uniformiteit is cruciaal voor de kwaliteit van de afbeeldingen en de opbrengst. Met de SCR-regelaar blijft de temperatuur van de lamp constant, waardoor de profielen van de fotoresist van lot tot lot consistent blijven. Dit zorgt voor betrouwbare procesresultaten, minder herwerk nodig en minder afval.
De betrouwbaarheid van het apparaat is zo ontworpen dat het 24/7 kan werken: geen onverwachte stilstand, lange onderhoudsintervallen en een stabiele prestatie gedurende meer dan 5.000 uur. In de praktijk betekent dit een hogere productiviteit, zonder dat er veel reserveonderdelen nodig zijn.
Een paar praktische tips: het apparaat heeft een aparte, schone stroomtoevoer en een goede grondingsconfiguratie nodig, zodat er geen elektromagnetische interferentie of andere storende factoren optreden. Als u het apparaat wilt integreren in bestaande processen, plan dan een korte testperiode in om de PID-constante bij te stellen op basis van de specifieke behoeften van uw lamp.
De kalibratie kan in één dag worden uitgevoerd. Verwacht echter wel dat er een korte aanpassingsperiode nodig is voor het eerste lot chips, totdat het systeem thermisch is gestabiliseerd. Eenmaal gekalibreerd, kan het proces gemakkelijk worden herhaald, met minimale ingrepen.