Op de lithografielijnen is een temperatuurverschil van 1°C tijdens het verhitten van de fotoresist zeker geen ‘kleine afwijking’. Het heeft juist negatieve gevolgen voor de kwaliteit van het product. Wafers hebben een beperkt thermisch budget; als de heater in de kast geen constante temperatuur kan behouden, leidt dit tot defecten en problemen met de reproduceerbaarheid. We hebben deze heater ontworpen om aan de eisen van de lithografielijnen te voldoen: een constante temperatuur die zich houdt bij de vereisten van het proces, en niet bij de omstandigheden in de ruimte.
Wat technisch gezien belangrijk is: De heater maakt gebruik van kortegolf-infrarode elementen, waardoor er snel reageerd wordt en de thermische inertie laag blijft. De temperatuur blijft overal binnen de kast op ±0,1°C stabiel, zodat de parameters van het verhittingsproces steeds consistent blijven. De eisen van de schone ruimte worden vervuld door het gebruik van materialen die compatibel zijn met Class 1–100, en door een constructie die uitstoot van gassen en het ontstaan van deeltjes minimaleert. De heater kan worden aangesloten op de besturingssystemen van de kast via standaardconnectoren, waardoor de uitgangstemperatuur continu stabiel blijft. Dit helpt om temperatureverschillen te voorkomen en de thermische cycli te beschermen.
Waarom de heater geschikt is voor gebruik in chemische kasten: In de kast houdt de heater de fotoresist en de bijbehorende materialen precies op de gewenste temperatuur. Deze precisie verkort de tijd die nodig is om de temperatuur te bereiken, verbetert de controle over de belangrijkste dimensies en vermindert de hoeveelheid afvalresultaten die optreden wanneer de temperatuur instabiel is. De energieverbruik blijft laag, omdat het systeem snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. Dit verlicht de last op de faciliteiten. De betrouwbaarheid komt tot uiting in minder storingen en minder onderhoudskosten, waardoor de productieefficiëntie hoog blijft.
Praktische details die belangrijk zijn: Bij de installatie moet rekening worden gehouden met de luchtcirculatie en de afvoerkanalen in de kast. De heater werkt optimaal wanneer de recirculatie goed geregeld is en de afvoerkanalen de juiste afmetingen hebben. Hij past zich aan de meeste kaststructuren aan, maar als u oude besturingssystemen gebruikt, moet u eerst controleren of de interface compatibel is. Er zal ongeveer één dag nodig zijn om de PID-instellingen af te stellen. Daarna kan het proces met de benodigde reproduceerbaarheid worden uitgevoerd.