http://top-quartz-ir.com/ms/tags/suhu/ Recent content in Suhu on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo ms Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/ms/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/ms/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Sensor suhu untuk alat wafer"></p> <p>On the line, wafer 300 mm itu sedang diletakkan, <a href="https://o-yate.net">menunggu</a> soft bake yang menetapkan kawalan lebar garis anda. Gangguan 2°C pada profil hotplate? Itu sudah cukup untuk menggerakkan dimensi kritikal lebih dari 1 nm, dan setiap kitaran yang melenceng adalah satu lagi lot yang menuju ke timbunan buangan. Kami membina sensor suhu alat wafer kami khusus untuk persekitaran ini, di mana bajet terma bukan cadangan—ia adalah had tegas.</p> <p><strong>Apa yang penting di bawah hud</strong></p> <p>Anda mendapat kestabilan ±0.1°C sepanjang tingkap bake penuh, 200–250°C, dengan kalibrasi yang boleh dijejaki ke NIST. Masa tindak balas adalah di bawah 150 ms, jadi kawalan gelung tertutup boleh mengesan pergeseran setpoint sebelum <a href="https://o-yate.com">photoresist</a> mula melenceng. Badan <a href="https://goldisgood.com">probe</a> adalah kuarza dan keluli tahan karat, disegel dengan epoxy rendah pengeluaran gas, dan ia beroperasi bersih dalam ruang Class 1–100 dengan penghasilan zarah dikekalkan di bawah 0.1 zarah/cm². Output adalah 4–20 mA dengan RS-485 dan Modbus RTU, dan pemasangan berulir 1/4-20 boleh terus dipasang ke hotplate alat wafer standard—tiada plat penyesuai diperlukan.</p>