Jangan biarkan peralatan semikonduktor anda memancarkan haba berlebihan
Jika anda pernah menggunakan peralatan semikonduktor berkualiti tinggi, anda pasti tahu masalahnya. Anda cuba mengekalkan suhu wafer pada tahap yang sesuai, tetapi entah mengapa, dinding dalaman mesin menjadi sangat panas.
Ini merupakan situasi yang rumit. Apabila tenaga inframerah tersebar ke mana-mana, bukan sahaja tenaga dibazirkan, malah ia juga menimbulkan risiko keselamatan kepada orang yang berada berdekatan dengan mesin tersebut.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan lampu UHP (Ultra High Purity). Lampu ini dapat mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya.
Mengarahkan haba ke tempat yang diinginkan
Kebanyakan lampu hanya memancarkan haba dalam lingkaran 360 darjah. Ini mungkin cukup untuk pemanas ruang, tetapi tidak sesuai untuk bilik bersih.
Kami menggunakan campuran kuarsa berkualiti tinggi dan reflektor khusus untuk mengarahkan gelombang inframerah ke arah wafer atau substrat. Dengan cara ini, haba akan sampai ke tempat yang sepatutnya, dan bahagian lain mesin akan tetap berada dalam keadaan terkawal.
Cabaran utama: Bahan dan kuasa
Kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi kerana dalam bilik bersih, “kuarsa hampir tulen” tidak mencukupi. Sebarang kekotoran kecil dalam kaca boleh menyebabkan pelepasan gas, dan ini akan merosakkan produk yang dihasilkan.
Lampu-lampu ini direka untuk beroperasi dengan kuasa yang tinggi. Namun, anda perlu memastikan bekalan kuasa yang digunakan adalah tepat. Jika anda cuba menggunakan kuasa yang berlebihan hanya untuk mempercepatkan proses pemanasan, filamen lampu akan rosak. Ia merupakan pertukaran yang mudah: anda boleh mendapatkan hasil yang lebih cepat, tetapi perlu menukar lampu lebih kerap.
Menggunakannya dalam dunia nyata
Memasang lampu-lampu ini di ruang yang sempit memang merupakan cabaran. Kami menggunakan sambungan khas untuk memastikan tiada kebocoran udara, dan sambungan elektrik tetap stabil.
Satu lagi tip: pastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik sebelum menghidupkan mesin. Walaupun haba dikawal secara terarah, masih ada jumlah haba yang tidak dapat dikendalikan. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk menangani jumlah kuasa yang digunakan, sensor dalaman akan berhenti berfungsi dan mesin akan mati.