Di fasiliti pengeluaran, proses pembakaran secara lembut dan keras bukan sekadar langkah pemanasan semata-mata. Ia merupakan titik kawalan proses di mana perubahan suhu sebanyak 2°C boleh merosakkan kawalan ketebalan lapisan bahan yang diproses. Tiub inframerah kuarsa berkuasa 2700W direka untuk memastikan suhu tetap stabil, walaupun proses pembakaran dilakukan berulang kali, dari satu wafer ke wafer yang lain.
Dari segi teknikal, apa yang penting ialah kelajuan tindak balas dan kebolehrulangan proses tersebut. Tiub ini menggunakan gelombang inframerah pendek melalui pelindung kuarsa yang jernih, sehingga ia dapat bertindak balas dengan cepat, dengan inersia haba yang rendah dan haba yang terfokus. Dengan kuasa 2700W, tenaga yang diperlukan untuk memanaskan bahan tersebut dapat dicapai dengan cepat, sambil mengekalkan suhu yang stabil.
Dalam praktiknya, ini bermakna suhu pada permukaan wafer harus kekal dalam julat ±0.1°C, dan profil pembakaran harus konsisten dari satu kumpulan bahan ke kumpulan bahan yang lain. Pelindung kuarsa ini sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, kerana permukaannya tidak menghasilkan zarah-zarah yang boleh merosakkan peralatan, dan tidak melepaskan gas organik ke dalam ruang pemprosesan.
Inilah sebabnya mengapa perkara ini penting dalam proses litografi. Proses pembakaran yang konsisten dapat menghilangkan bahan pelarut tanpa merosakkan permukaan bahan tersebut. Proses pembakaran yang efektif juga dapat mempersiapkan bahan tersebut untuk proses etching atau implantasi, tanpa menyebabkan masalah reflow. Dengan kuasa 2700W, kurva pembakaran akan tetap stabil, masa proses akan berkurangan, dan jumlah bahan yang rosak akibat perubahan suhu akan berkurangan.
Dengan cara ini, pengeluaran dapat ditingkatkan, jumlah bahan yang perlu diproses semula berkurangan, dan penggunaan tenaga untuk setiap wafer juga berkurangan. Kelebihannya ialah kawalan ketebalan lapisan bahan yang lebih baik, serta pengurangan masalah yang disebabkan oleh ketidaksamaan suhu.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diambil kira: Pastikan tiub tersebut sesuai dengan geometri reflektor serta tetapan PID pengawal sistem. Reflektor yang tidak sesuai akan menyebabkan kawasan panas, manakala tetapan yang tidak tepat akan menyebabkan masalah. Pastikan voltan dan sambungan tiub tersebut sesuai dengan peralatan yang digunakan, dan pastikan langkah-langkah keselamatan ESD diikuti semasa pemasangan.
Tiub-tiub ini mempunyai jangka hayat yang terhad apabila digunakan secara berterusan, jadi tetapkan jadual penggantian yang sesuai. Dengan cara ini, masa henti operasi dapat dielakkan, dan proses pengeluaran dapat berjalan lancar.