http://top-quartz-ir.com/ko/tags/%EC%98%A8%EB%8F%84/ Recent content in 온도 on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 장비용 온도 센서"></p> <p>라인 위, 300 mm 웨이퍼가 소프트 베이크를 기다리고 있습니다. 이 소프트 베이크는 라인폭 제어를 설정합니다. 히트플레이트 프로파일에서 2°C의 변동이 발생한다면? 이는 임계 치수를 1 nm 이상 이동시킬 수 있으며, 프로파일이 벗어날 때마다 해당 로트는 폐기물로 향합니다. 당사는 바로 이러한 환경을 위해 웨이퍼 장비 온도 센서를 설계했습니다. 여기서 열 예산은 제안사항이 아니라 반드시 지켜야 할 한계입니다.</p>