http://top-quartz-ir.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハツール用温度センサー"></p> <p>ライン上では、300 mmウェハーがソフトベイクを待機しており、これがライン幅<a href="https://henruite.com">制御</a>を決定づける。ホットプレートの温度プロファイルに2°Cの乱れがあれば、重要寸法が1 nm以上変動する。温度がずれるたびに、廃棄されるロットが増えることになる。この環境に対応するために、当社はウェハーツール用の温度センサーを開発した。ここでは、熱予算は単なる目安ではなく、厳格な制限である。</p>