http://top-quartz-ir.com/ja/tags/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E7%9A%84/ Recent content in 化学的 on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 12:45:16 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/fab-chemical-cabinet-heater/ Wed, 01 Jul 2026 12:45:16 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/fab-chemical-cabinet-heater/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ファブ化学キャビネットヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に1℃もの温度変動があるというのは、「わずかな偏差」とは言えません。それは、単純に歩留まりに悪影響を与える要因です。ウェーハは厳格な熱管理が求められます。もし加熱装置が均一な温度を維持できない<a href="https://o-yate.com">場合</a>、視野内に欠陥が生じたり、再現性の問題が発生したりします。私たちは、この装置を、工程の要求に応じて温度を安定させるように設計しました。つまり、部屋全体の温度ではなく、工程自体に合わせて温度をコントロールするのです。</p>