http://top-quartz-ir.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%84/ Recent content in クォーツ on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 08:46:44 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/tungsten-filament-quartz-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 08:46:44 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/tungsten-filament-quartz-lamp/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="タングステンフィラメント式石英ランプ"></p> <p>ファブの現場では、5nmプロセスでは熱的な均一性が失われると製造が止まってしまいます。ウェーハの乾燥処理やソフトベイク、ハードベイクの際には、このような熱的な不均一性は許されません。もしランプの性能が低下すると、エッジ部分に粒子が発生したり、接着力が弱くなったりして、結果として大量のウェーハが廃棄されてしまいます。</p> http://top-quartz-ir.com/ja/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ Tue, 02 Jun 2026 06:05:19 +0800 http://top-quartz-ir.com/ja/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ用赤外線石英ランプ"></p> <h1 id="リソグラフィ工程においてフォトレジストのベーク中に03cの温度ドリフトが発生すると制御された工程が不良品に変わることになるウェハの熱予算は交渉の余地がなく守るか代償を払うかのどちらかだ我々はこの現実に基づいて赤外線クォーツランプを設計しているプロセスは繰り返し可能な熱を要求するためだ">リソグラフィ工程において、フォトレジストのベーク中に0.3°Cの温度ドリフトが<a href="https://o-yate.com">発生</a>すると、制御された工程が不良品に変わることになる。ウェハの熱予算は交渉の余地がなく、守るか代償を払うかのどちらかだ。我々はこの現実に基づいて赤外線クォーツランプを設計している。プロセスは繰り返し可能な熱を要求するためだ。</h1> <p><strong>技術的に重要なポイント</strong><br> 短波長赤外線クォーツエミッターを使用し、サブ秒単位の応答速度で迅速かつ直接的なエネルギー伝達を実現している。ウェハ全体の熱均一性は±0.1°C以内に維持され、サイクル間の再現性も±0.5°C以内で安定している。ランプ本体およびリフレクターの形状は、不要な熱の漏れや影の発生を抑制するよう設計されており、熱プロファイルはパターンフィールドと一致している。出力は200°Cから650°Cの範囲で安定しており、スペクトル制御が厳密であるため、ソフトベークおよびハードベーク中にフォトレジストの品質を保持する。クリーンルーム対応の構造により粒子発生は低減されており、クラス1〜100の環境でも問題なく使用できる。</p>