Elemento riscaldante per ossidazione dei wafer
Nelle linee di produzione, le variazioni termiche durante l’ossidazione non influiscono soltanto sulla resa dei processi produttivi, ma possono...
Bombilla di ricambio per la lampada del essiccatore di wafer
Nella sala di produzione, il dispositivo per l’essiccazione dei wafer si trova esattamente tra la traccia di rotazione e la piastra riscaldata. Se le...
Sensore di temperatura per strumento wafer
Sulla linea, quel wafer da 300 mm è posizionato, in attesa della soft bake che definisce il controllo della larghezza di linea. Un’oscillazione di...
Lampada al quarzo a infrarossi per wafer
Sul piano di litografia, una deriva di 0,3°C durante la cottura del photoresist è il tipo di variazione che trasforma una produzione controllata in...
Riflettore per lampada di polimerizzazione dei wafer
Out on the fab floor, il profilo del fotoresist viene definito durante il soft bake e l’hard bake. Uno scostamento di mezzo grado sull’intero wafer è...