Lampada per asciugatura _con display flessibile fab

Mon, 08 Jun 2026 05:07:15 +0800

Sulla linea di produzione di display flessibili, una cottura del photoresist non è semplicemente un “riscaldamento”. È una gestione del budget termico: ogni deriva di temperatura si traduce direttamente in errore dimensionale sul dispositivo finito. Se il profilo di soft bake o hard bake deviasse anche minimamente, si verificherebbe un rapido calo di resa su quei substrati fragili.

Aspetti tecnici rilevanti

Abbiamo progettato la lampada di asciugatura attorno all’infrarosso a onde corte controllato, in modo da colpire il wafer rapidamente, senza contatto, mantenendo un’uniformità a livello wafer entro ±0,1°C. Il percorso ottico in quarzo e le componenti a bassa emissione di gas evitano la generazione di particelle, che deve rimanere a zero – perché nelle cleanroom Class 1–100, anche una singola particella può compromettere una linea. La precisione della temperatura del photoresist si mantiene costante da lotto a lotto, e il profilo termico resta stabile anche in funzionamento continuativo 24/7.

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