Cara Memanaskan Wafer Silikon Tanpa merusak Lingkungan Bersih di Ruang Kerja yang Steril
Ketika Anda bekerja di ruang kerja kelas 100 yang bersih, setiap butiran debu sekecil apa pun dapat menjadi bencana. Hanya satu butir saja sudah cukup untuk merusak segalanya. Jika Anda memanaskan wafer silikon, Anda tidak boleh membiarkan material-material tertentu terlepas atau gas-gas keluar ke udara. Elemen pemanas biasa? Lupakan saja. Elemen tersebut akan mengeluarkan partikel-partikel berbahaya, dan hal ini tentu saja tidak boleh terjadi di lingkungan yang steril ini.
Itulah mengapa kami menggunakan lampu inframerah berbahan kuarsa sintetis yang berkualitas tinggi. Rahasianya ada pada kuarsa itu sendiri. Kami menggunakan silika yang hampir bebas dari kotoran. Mengapa? Karena ketika suhu meningkat, kita tidak ingin zat-zat kimia keluar dari lampu tersebut. Kulit luar kuarsa berfungsi sebagai pelindung yang efektif untuk filamen tungsten. Dengan demikian, filamen tersebut tidak akan bereaksi dengan udara, sehingga tidak akan ada oksida logam yang jatuh ke permukaan wafer.
Tapi ada satu hal yang perlu diperhatikan: jarak antara lampu dan wafer. Jika lampu dipasang terlalu dekat, wafer bisa rusak atau muncul titik-titik panas. Jika terlalu jauh, energi yang digunakan hanya untuk memanaskan udara di ruangan tersebut. Kami menggunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek. Cara ini lebih baik, karena panasnya langsung masuk ke substrat wafer, bukan memanaskan seluruh ruangan.
Beberapa hal yang perlu diperhatikan:
Lampu ini memiliki daya pemanas yang sangat tinggi. Kepadatan panasnya sangat besar, sehingga waktu yang dibutuhkan untuk memanaskan wafer sangat cepat. Namun hal ini juga memberikan tekanan yang besar pada sumber daya listrik. Pastikan kabel dan konektor yang digunakan cocok untuk daya yang diperlukan. Jika tidak, kabel tersebut bisa rusak.
Selain itu, ingatlah bahwa kuarsa berkualitas tinggi bersifat rapuh. Bukanlah sesuatu yang bisa diperlakukan sembarangan. Jika proses pemasangan dilakukan secara kasar, maka akan muncul retakan mikroskopis. Mungkin retakan tersebut tidak terlihat pada awalnya, tetapi begitu lampu mulai bekerja, retakan tersebut akan semakin parah.
Mempertahankan kondisi ruang kerja yang benar-benar bebas debu:
Untuk memastikan tidak ada kontaminasi sama sekali, kami menghilangkan semua bahan pengikat organik yang digunakan dalam proses pembuatan lampu ini. Semua komponen dalam lampu ini merupakan bahan anorganik. Ini merupakan hal yang sangat penting. Artinya, tidak akan ada zat-zat berbahaya yang terlepas saat lampu dihidupkan. Anda hanya perlu menyambungkan kabelnya, menyetel jarak antara lampu dan wafer, lalu lampu siap digunakan.