फैब्रिकेशन लाइन पर, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” महज “गर्म करने की प्रक्रियाएँ” ही नहीं हैं; बल्कि ये तो प्रक्रिया-नियंत्रण बिंदु हैं। यहाँ 2°C का थोड़ा सा अंतर भी उत्पादन प्रक्रिया को बिगाड़ सकता है। 2700W की शक्ति वाले क्लियर क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड ट्यूबों का उपयोग, प्रत्येक बेकिंग प्रक्रिया में तापमान को नियंत्रित रखने हेतु किया जाता है।
तकनीकी दृष्टि से, महत्वपूर्ण बात तो प्रतिक्रिया-दर एवं पुनरावृत्ति-क्षमता है। ये ट्यूबें क्लियर क्वार्ट्ज आवरण के माध्यम से शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करती हैं; इस कारण इनकी प्रतिक्रिया-दर तेज होती है, तापीय जड़त्व कम होता है, एवं ऊष्मा केंद्रित रहती है। 2700W की शक्ति के कारण, कैरियरों एवं हॉट प्लेटों को तेजी से गर्म किया जा सकता है, जबकि तापमान स्थिर रहता है।
व्यवहार में, इसका अर्थ है कि बेकिंग सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं प्रत्येक बैच में बेकिंग प्रक्रिया समान ही रहती है। क्वार्ट्ज आवरण, क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए उपयुक्त है; क्योंकि इसकी सतहों से कोई कण नहीं निकलते, एवं कोई कार्बनिक गैस भी चैंबर में नहीं जाती।
लिथोग्राफी में यह बहुत ही महत्वपूर्ण है – सुसंगत “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से विलायक हट जाते हैं, जबकि सुसंगत “हार्ड बेक” प्रक्रिया से रेजिस्ट सामग्री एटच/इम्प्लांट प्रक्रिया हेतु तैयार हो जाती है। 2700W की शक्ति के कारण, बेकिंग प्रक्रिया स्थिर रहती है, चक्र-समय कम हो जाता है, एवं तापमान-असंगतता के कारण होने वाली गलतियाँ भी कम हो जाती हैं।
इससे उत्पादन-दर बढ़ जाती है, पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रति वेफर ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है। इसका परिणाम है – स्थिर CD नियंत्रण, एवं तापीय असंगतता से होने वाली समस्याओं में कमी।
कुछ व्यावहारिक बातें – ट्यूब को रिफ्लेक्टरों की ज्यामिति एवं कंट्रोलर की PID सेटिंगों के अनुरूप ही उपयोग में लाना आवश्यक है; अन्यथा गर्म स्थान बन जाते हैं, एवं अपर्याप्त ट्यूनिंग के कारण प्रक्रिया विफल हो जाती है। अपने उपकरणों के अनुरूप वोल्टेज एवं कनेक्टरों की जाँच भी आवश्यक है; इंस्टॉलेशन के दौरान उचित ESD सावधानियाँ भी आवश्यक हैं।
ये ट्यूबें निरंतर उपयोग में एक निश्चित समय तक ही कार्य कर पाती हैं; इसलिए नियमित रूप से इनका रिप्लेसमेंट करना आवश्यक है। ऐसा करने से अचानक होने वाली बंदشों से बचा जा सकता है, एवं उत्पादन-प्रक्रिया निरंतर चलती रहती है।