Chauffage de chariot de salle blanche pour semi conducteurs

Fri, 05 Jun 2026 04:07:33 +0800

Sur le plancher de fabrication, une cuisson de photo-résist qui dérive de même 0,2°C peut déplacer des dimensions critiques et envoyer une grande quantité de wafers à la casse. Nous avons conçu le réchauffeur de chariot de salle blanche pour éliminer cette variabilité.

Ce qui est techniquement important, c’est l’uniformité de la température sur la charge—±0,1°C—et le contrôle répétable de la montée pour les profils de cuisson douce et de cuisson dure. Le réchauffeur utilise une architecture à faible profil, compatible avec les salles blanches, avec des éléments scellés et des matériaux de qualité HEPA pour maintenir la génération de particules aussi proche de zéro que possible. Le flux d’air est laminaire, pas turbulent, de sorte que vous ne dérangez pas les outils de lithographie à proximité ni ne risquez de contaminer la surface du wafer. La boucle de contrôle est réglée pour se stabiliser rapidement après l’ouverture de la porte, car les changements de ligne n’attendent pas la stabilité thermique.

Semi Conducteur on Top-Rated Quartz IR Lamps

Chauffage de chariot de salle blanche pour semi conducteurs