Arrêtez de laisser votre équipement de semi-conducteurs perdre de la chaleur
Si vous avez déjà travaillé avec des outils haut de gamme pour le traitement des semi-conducteurs, vous connaissez bien le problème : on essaie de maintenir la wafer à la température appropriée, mais pour une raison ou une autre, les parois intérieures de l’appareil deviennent extrêmement chaudes. C’est un vrai problème. Lorsque l’énergie infrarouge se répand partout, non seulement on gaspille de l’énergie, mais cela crée également un risque sérieux pour ceux qui doivent travailler à proximité de l’appareil.
Nous résolvons ce problème en utilisant des lampes UHP (Ultra High Purity), qui dirigent la chaleur exactement là où elle doit aller.
Diriger la chaleur là où on le souhaite
La plupart des lampes émettent de la chaleur dans un cercle de 360 degrés. Cela convient pour un chauffage domestique, mais pas pour une salle propre. Nous utilisons donc un mélange spécifique de quartz et un réflecteur intelligent pour diriger les ondes infrarouges directement vers la wafer ou le substrat. Ainsi, au lieu que le châssis de l’appareil agisse comme une éponge absorbant l’énergie inutile, la chaleur est dirigée exactement là où elle est nécessaire. La wafer devient chaude, tandis que le reste de l’équipement reste sous contrôle.
Le point difficile : matériaux et puissance
Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté, car dans une salle propre, « presque pur » n’est pas suffisant. Toute petite impureté dans le verre peut provoquer des émissions gazeuses, ce qui peut détruire tout un lot de produits. Ces lampes sont conçues pour fonctionner rapidement, ce qui signifie qu’elles consomment beaucoup d’énergie. Mais il y a un piège : il faut absolument bien régler l’alimentation électrique. Si vous essayez de faire fonctionner la lampe à pleine puissance uniquement pour gagner quelques secondes, vous risquez de brûler le filament. C’est un compromis simple : vous pouvez obtenir des résultats plus rapides, mais vous devrez remplacer les lampes plus souvent.
Faire fonctionner cet équipement dans la réalité
Intégrer ces lampes dans un espace restreint est toujours un défi. Nous utilisons des connecteurs spécialisés pour assurer herméticité et éviter que les connexions électriques ne se détachent. Un dernier conseil : vérifiez bien vos ventilateurs de refroidissement avant de mettre l’équipement en marche. Même avec un système de chauffage ciblé, vous avez affaire à une quantité incroyable d’énergie. Une partie de cette chaleur finira toujours par se disperser. Si votre système de refroidissement n’est pas assez performant pour gérer toute l’énergie générée, vos capteurs internes se déclencheront et l’équipement s’arrêtera.