دیگر نیازی نیست هوا را گرم کنیم؛ بلکه باید فقط قطعات مورد نظر را گرم کنیم.
در اتاقهای پاکسازی نیمههادی، گرم کردن چیزهای نادرست، نه تنها باعث هدررفت انرژی میشود، بلکه میتواند خطرات ایمنی را نیز به همراه داشته باشد.
اگر از گرمکنهای سنتی استفاده کنید، در واقع هوا و کل بدنه دستگاه گرم میشود. این امر باعث میشود دیوارههای داخلی دستگاه به اندازهای گرم شوند که بتوانند اپراتور را آسیب برسانند؛ یا حتی باعث تغییر شکل قطعات حساسی شوند که سعی داریم از آنها محافظت کنیم.
ما از فناوری مادونقرمز جهت گرم کردن قطعات استفاده میکنیم.
نحوه عملکرد این فناوری
لامپهای مادونقرمز تنها انرژی را در جهت مستقیم منتشر میکنند؛ یعنی انرژی تنها زمانی منتقل میشود که به یک جسم فیزیکی برخورد کند. با تنظیم فاصله کانونی لامپها، میتوانیم گرما را مستقیماً به سمت ویفر یا سطح مورد نظر هدایت کنیم. بدنه دستگاه سرد باقی میماند، زیرا انرژی از کنار آن عبور میکند.
کنترل و ایمنی
ما از لامپهای مادونقرمز با امواج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها پرتوی بسیار متمرکزی ایجاد میکنند. این کار از پدیده «گرمای غیرمستقیم» جلوگیری میکند؛ یعنی پدیدهای که در آن انرژی از روی هدف برمیگردد و باعث گرم شدن دیوارههای داخلی دستگاه میشود.
علاوه بر این، با استفاده از کنترلکننده PID، پاسخ دستگاه بسیار سریع خواهد بود؛ گرما در همان لحظه ظاهر میشود و وقتی که برق قطع میشود، بلافاصله ناپدید میشود. بدنه دستگاه ساعتها در معرض گرمای باقیمانده قرار نخواهد گرفت؛ بلکه همیشه سرد خواهد ماند.
معایب این روش
البته، این روش نیز معایبی دارد. لامپهای مادونقرمز با توان بالا، مقدار زیادی انرژی را در فضای کوچکی ذخیره میکنند؛ به همین دلیل گرما به سرعت ایجاد میشود. اما این لامپها بسیار داغ میشوند. اگر سیستم تهویه مناسبی برای خارج کردن گرما از بدنه لامپها وجود نداشته باشد، سیمها یا اتصالات دستگاه آسیب خواهند دید. بنابراین باید توازن بین توان لامپها و سیستم خنککننگ مناسب برقرار شود؛ در غیر این صورت مجبور خواهیم بود قطعات را زودتر تعویض کنیم.
دیگر نیازی نیست با گرمای محیطی مبارزه کنیم؛ بلکه باید فقط قطعات مورد نظر را گرم کنیم. دیوارههای دستگاه نیز باید سرد باقی بمانند.