Quarz on Top-Rated Quartz IR Lamps

Wolframfaden Quarzlampe

Fri, 03 Jul 2026 08:46:44 +0800

In der Fertigungshalle führt eine Strukturgröße von 5 Nanometern dazu, dass die thermische Homogenität beeinträchtigt wird. Das Trocknen der Wafer sowie die anschließenden Behandlungsprozesse verzeihen solche Abweichungen nicht. Wenn die Lampe an Leistung verliert, treten Probleme wie Unebenheiten an den Rändern der Wafer, schwache Haftung sowie Partikelbildung auf – all das kann dazu führen, dass ganze Produktchargen verschwendet werden müssen.

Was technisch wichtig ist: Unsere Wolframfaden-Quarzlampen strahlen Kurzwellen-Infrarot aus, das sich effektiv in Wasser und Photoresist eindringen lässt. Dadurch wird das Lösungsmittel entfernt, ohne dass der Polymer beeinträchtigt wird. Die Geometrie des Fadens sowie die Quarzhülle sind so gestaltet, dass die Lichtausbeute über Tausende von Stunden hinweg konstant bleibt. In der beleuchteten Zone halten wir die Temperaturhomogenität auf dem Wafer-Niveau bei ±0,1 °C – außerdem bleibt die Reproduzierbarkeit von Bearbeitungsschritt zu Bearbeitungsschritt hoch. Durch die Konstruktion entstehen kaum Partikel, und die verwendeten Materialien sind für Reinräume bis zur Klasse 1 geeignet.

Klarer Quarz Infrarotstrahlrohr 2700W

Sat, 27 Jun 2026 04:53:23 +0800

In der Fertigungsbühne sind die Schritte des Weichbrennens und Hartbrennens nicht einfach nur „Erhitzungsschritte“. Es handelt sich dabei um Kontrollpunkte im Prozess, bei denen bereits eine Abweichung von 2 °C dazu führen kann, dass die Kontrolle über die Dicke der Schicht beeinträchtigt wird. Die 2700-Watt-starke Infrarotröhre aus klarem Quarz sorgt dafür, dass die thermischen Bedingungen konstant bleiben – egal wie oft gebrannt wird und egal welche Wafer verwendet werden.

Technisch gesehen ist es wichtig, dass die Reaktion der Röhre sowie ihre Wiederholgenauigkeit hoch sind. Die Röhre nutzt Kurzwellen-Infrarotstrahlung durch einen klaren Quarzkern – dadurch reagiert sie schnell, hat eine geringe thermische Trägheit und liefert gezielte Wärmeabgabe. Mit einer Leistung von 2700 Watt erhält man die notwendige Energie, um die Temperatur schnell anzupassen, während gleichzeitig die gewünschten Werte stabil gehalten werden.

Infrarot Quarzlamp für Wafer

Tue, 02 Jun 2026 06:05:19 +0800

Auf dem Lithografie-Floor kann eine Abweichung von 0,3°C während des Photoresist-Backens aus einem kontrollierten Lauf Ausschuss machen. Das thermische Budget des Wafers ist nicht verhandelbar – entweder wird es eingehalten oder die Kosten trägt man. Unsere Infrarot-Quarzlampen sind genau auf diese Gegebenheit ausgelegt, da der Prozess eine reproduzierbare Wärmezufuhr fordert, Punkt.

Was technisch zählt
Wir setzen kurzwellige Infrarot-Quarzstrahler für eine schnelle, direkte Energieübertragung mit Reaktionszeiten unter einer Sekunde ein. Über den Wafer hinweg liegt die thermische Gleichmäßigkeit innerhalb von ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit von Zyklus zu Zyklus bleibt bei ±0,5°C. Das Lampengehäuse und die Reflektor-Geometrie sind so konstruiert, dass Streuwärme und Abschattungen minimiert werden, damit das thermische Profil mit dem strukturierten Feld übereinstimmt. Die Leistung ist von 200°C bis 650°C stabil mit enger spektraler Kontrolle, was die Integrität des Photoresists sowohl beim Soft Bake als auch beim Hard Bake schützt. Die Reinraumtauglichkeit der Konstruktion sorgt für eine geringe Partikelbildung, sodass der Einsatz in Class 1–100 Umgebungen möglich ist.