Energieeffizienter Waferheizer

Mon, 27 Jul 2026 09:11:52 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre Waferheizer zu einer Quelle von Unordnung werden
In einer Anlage mit hohem Aufkommen an Wafern ist ein defekter Lampenverschluss ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – auch die Reinigung ist ein Problem. Wenn die Quarzkapsel zerbricht, fallen Glassplitter und metallische Stoffe direkt auf die Wafer. Die produzierten Wafer sind dann unbrauchbar, und man muss Stunden damit verbringen, die Kammer zu reinigen.
Wir bauen unsere Heizer so, dass das nicht passiert.

Umgang mit Wärmestress
Die meisten Lampen versagen, weil sie der ständigen Ausdehnung und Zusammenziehung nicht standhalten können. Um das zu vermeiden, verwenden wir hochreinen geschmolzenen Quarz. Er ist sehr widerstandsfähig – er kann den schnellen Wechsel zwischen hohen und niedrigen Temperaturen ohne Risse überstehen.
Außerdem achten wir darauf, dass die Wanddicke genau richtig ist. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewicht: Man möchte, dass die Wärme effizient weitergeleitet wird – doch der Rohr sollte gleichzeitig stark genug sein. Wenn man für ein zu dünnes Rohr eine zu hohe Leistung verwendet, werden die Elektroden beschädigt und die Dichtungen versagen bereits frühzeitig.

Effizient on Top-Rated Quartz IR Lamps

Energieeffizienter Waferheizer