Infrarot Softbake Lampe

Fri, 19 Jun 2026 06:04:23 +0800

In der Fertigungshalle ist die sanfte Trocknungschance keine Art „Aufwärmphase“. Vielmehr ist sie der Moment, in dem Breite und Qualität der Schicht zum ersten Mal wirklich definiert werden. Schon eine Temperaturabweichung von einigen Grad kann die Kontrolle über die wichtigsten Abmessungen stören, das Profil der Seitenwände verändern und dazu führen, dass Wafer, die bereits die Vorausprüfungen überstanden haben, trotzdem als defekt gelten. Wir haben unsere Infrarotlampen so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten ausgeglichen werden.

Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotemitter, die das Substrat direkt und schnell erhitzen. Durch eine geschlossene Temperaturregelung wird eine Konstanz auf der Oberfläche des Wafer erreicht – mit einer Abweichung von ±0,1°C. Die Geometrie des Quarzfensters sowie des Reflektors sorgt dafür, dass das thermische Profil stabil bleibt. So erhält jedes Wafer immer dieselben Bedingungen, batch für Batch. Die gesamte Anlage ist für Reinräume geeignet – sie verwendet Materialien mit geringer Ausgasung und eine Konstruktion, die die Entstehung von Partikeln auf ein Minimum reduziert.

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