Hören Sie auf, die Luft zu erhitzen – heizen Sie stattdessen direkt die jeweiligen Komponenten.
In einem Reinraum für Halbleiter ist es nicht nur ein Verschwendung von Energie, wenn man die falschen Objekte erhitzt – es stellt außerdem eine echte Sicherheitsgefahr dar.
Wenn man traditionelle Konvektionsheizungen verwendet, wird im Grunde genommen sowohl die Luft als auch das gesamte Gehäuse der Maschine erwärmt. Dadurch werden die Innenwände so heiß, dass sie einen Mitarbeiter verbrühen können – oder noch schlimmer: Die empfindlichen Komponenten, die geschützt werden sollen, können beschädigt werden.
Wir gehen anders vor: Wir nutzen direkte Infrarot-Heiztechnologie.
Wie das funktioniert
Infrarotlampen kümmern sich nicht um die Luft. Sie strahlen Energie ab, die in gerader Linie weitergeleitet wird – die Energie wird erst dann übertragen, wenn sie auf ein physisches Objekt trifft. Durch genauere Einstellung der Brennweite kann man die Hitze direkt auf die Wafer oder Substrate richten. Das umgebende Gerätegehäuse bleibt dabei kalt, denn die Energie geht einfach daran vorbei. Man heizt also nur die jeweiligen Komponenten, nicht den gesamten Raum.
Steuerung und Sicherheit
Wir nutzen Kurzwellen-Infrarot-Lampen – dadurch entsteht ein präziser Heizstrahl. Dadurch wird das Problem vermieden, dass die Strahlung von den Zielobjekten abprallt und die Innenwände der Maschine erhitzt. Zudem sorgt ein PID-Regler dafür, dass die Heizung sofort reagiert. Die Hitze ist bereits vorhanden, sobald man den Schalter umlegt – und verschwindet wieder, sobald die Energiezufuhr unterbrochen wird. Das Gehäuse bleibt somit kalt.
Der Trade-off
Es gibt jedoch einen Nachteil: Hochintensive Infrarotlampen konzentrieren eine enorme Menge an Energie auf einer kleinen Fläche – deshalb heizen sie so schnell auf. Doch diese Lampen werden sehr heiß. Wenn die Belüftung nicht richtig eingestellt ist, können die Kabel oder Anschlüsse beschädigt werden. Man muss also die Intensität der Heizung mit einer effektiven Kühlung zusammenbringen – sonst muss man die Komponenten schon viel früher austauschen, als man möchte.
Hören Sie auf, gegen die Umgebungstemperatur anzukämpfen – heizen Sie stattdessen direkt die jeweiligen Komponenten. Halten Sie die Wände kühl.