http://top-quartz-ir.com/cs/tags/pl%C3%A1tek/ Recent content in Plátek on Top-Rated Quartz IR Lamps Hugo cs Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/cs/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:02 +0800 http://top-quartz-ir.com/cs/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://top-quartz-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Snímač teploty pro waferový nástroj"></p> <p>Na lince sedí ten 300mm wafer a čeká na soft bake, který nastaví kontrolu šířky linky. Výkyv 2°C v profilu horké desky? To stačí k posunu kritické dimenze o více než 1 nm a každý cyklus mimo toleranci znamená další várku určenou do odpadu. Náš teplotní senzor pro waferové nástroje jsme vyvinuli přesně pro takové <a href="https://goldisgood.com">prost</a>ředí, kde tepelný rozpočet není doporučení – je to tvrdá hranice.</p> <p><strong>Co je důležité pod povrchem</strong></p> <p>Zajišťujete stabilitu ±0,1°C v celém rozsahu pečení 200–250°C s kalibrací zpětně sledovatelnou k NIST. Čas odezvy je pod 150 ms, takže řízení v uzavřené smyčce zachytí posuny nastavené teploty dříve, než začne fotoresist driftovat. Tělo sondy je z křemene a nerezové oceli, utěsněné epoxidem s nízkým výtokem plynů, a je vhodné pro čisté prostory třídy 1–100, kde generace částic nepřesahuje 0,1 částice/cm². Výstup je 4–20 mA s RS-485 a Modbus RTU a závit 1/4-20 umožňuje přímou montáž do <a href="https://o-yate.net">standardn</a>ích horkých desek waferových nástrojů – bez potřeby adaptérů.</p>