V prostorách výroby způsobuje technologie 5 nm problémy s termální jednotností. Sušení waferů, procesy měkkého a tvrdého zahřívání neodpouštějí žádné...

V provozu výroby nejsou kroky měkkého a tvrdého zahřívání pouze „kroky ohřevu“. Jedná se o body kontroly procesu, kde i změna teploty o 2 °C může...