في أرض التصنيع، يمكن أن تؤدي درجة حرارة التجفيف للمواد الحساسة للضوء التي تنحرف حتى 0.2 درجة مئوية إلى تغيير الأبعاد الحرجة وإرسال العديد من الشرائح إلى كومة الخردة. قمنا بتطوير سخان عربة غرفة النظافة للشرائح لأخذ هذا التباين بعيدًا عن المعادلة.
ما يهم، من الناحية التقنية، هو توحيد درجة الحرارة عبر الحمولة—±0.1 درجة مئوية—والتحكم القابل للتكرار في التسخين لكل من ملفات التجفيف اللين والتجفيف الصلب. يستخدم السخان تصميمًا منخفض الارتفاع ومتوافقًا مع غرف النظافة، مع عناصر مغلقة ومواد من درجة HEPA للحفاظ على توليد الجسيمات قريبًا من الصفر. تدفق الهواء هو تدفق هادئ، وليس مضطربًا، لذا لا تزعج أدوات الطباعة القريبة أو تعرض سطح الشريحة للتلوث. تم ضبط حلقة التحكم للاستقرار بسرعة بعد فتح الباب، لأن تغييرات الخط لا تنتظر الاستقرار الحراري.
إليك السبب وراء نجاحه حيث يهم. يجلس السخان في العربة، مسبقًا معالجة الشرائح قبل أن تصل إلى اللوحة الساخنة. وهذا يمنحك ميزانية حرارية مستقرة أثناء التعرض والتجفيف، وعدد أقل من إعادة العمل، وتحكمًا أكثر دقة في الأبعاد الحرجة. تضمن التوافق مع غرفة النظافة—المواد والتشطيبات المصنفة من الفئة 1 إلى 100—خفض عدد الجسيمات وحماية العائد. كما أنك توفر الطاقة، لأن العربة تحتفظ بالحرارة بدلاً من الاعتماد على الفرن الرئيسي لكل تسخين.
بعض الملاحظات العملية. يتطلب التثبيت مصدر طاقة نظيف مخصص وتأريض مناسب للحفاظ على الاهتزازات الدقيقة والضوضاء الكهربائية من التداخل في مستشعر التحكم. المساحة المطلوبة صغيرة، ولكن يجب الحفاظ على مسافة حول مسارات تدفق الهواء؛ وإلا فإن التوحيد يتأثر. وخطط لإجراء المعايرة الروتينية على مستوى العربة. حتى أفضل سخان ينحرف مع مرور الوقت دون نافذة قياس محددة.