红外线软烤灯

在制造过程中，这种低温烘烤并非简单的预热步骤。实际上，正是在这个阶段，晶圆的线宽和良率才得以确定下来。哪怕温度出现几度的波动，都可能影响对晶圆尺寸的控制，进而导致已经通过前序工序的晶圆被判定为不合格品。我们设计的红外低温烘烤灯，就是为了消除这种不确定性。 从技术层面来看，关键在于： 我们使用短波红...