半导体洁净室推车加热器

在制造车间，光刻胶烘烤温度即使偏差0.2°C也可能导致关键尺寸的变化，并将大量晶圆送入废料堆。我们开发了半导体净化室小车加热器，以消除这一变数。 从技术角度来看，负载的温度均匀性至关重要——±0.1°C——并且对于软烘烤和硬烘烤工艺的升温控制必须可重复。该加热器采用低调、适合净化室的结构，配备密封...