فیبریکیشن لیول پر، 5نینومیٹر کی لائنیں دوسری قسم کی حرارتی عدم یکسانیتوں کو روکتی ہیں۔ ویفر کو خشک کرنے، نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ کے عمل میں ایسی عدم یکسانیتوں کو برداشت نہیں کیا جاسکتا۔ اگر لیمپ کی کارکردگی کم ہوجائے، تو کناروں پر داغ پیدا ہوجاتے ہیں، چپس کی چپکنے کی صلاحیت کم ہوجاتی ہے، اور ذرات کی وجہ سے پورے بیچ کو تباہ کیا جاسکتا ہے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں
ہمارے ٹنگسٹن فلامنٹ والے کوارٹز لیمپ، مختصر-تردد والی انفرارویل شعاعیں پیدا کرتے ہیں؛ یہ شعاعیں پانی اور فوٹوریزسٹ میں بآسانی داخل ہوجاتی ہیں۔ اس سے حل کو ختم کیا جاتا ہے، بغیر پولیمر پر کسی اثر کے۔ فلامنٹ کی ساخت اور کوارٹز کی ساخت کو اس طرح ترتیب دیا گیا ہے کہ طیفی استحکام برقرار رہے، تاکہ ہزاروں گھنٹوں تک آؤٹ پٹ یکساں رہے۔ روشنی کے علاقے میں، ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے، اور ہر بار کی پروسیسنگ میں استحکام برقرار رہتا ہے۔ اس ڈیزائن کی وجہ سے تقریباً کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اور مواد کلاس 1 کے مطابق صاف رہتا ہے۔
عملی طور پر کیوں کام کرتا ہے
ویفر کو خشک کرنے کے عمل میں، تیز اور کنٹرول شدہ انفرارویل شعاعیں بیکنگ کے وقت کو کم کرتی ہیں، اور لیتھوگرافی سے پہلے نمی کے دوبارہ جذب ہونے کے خطرے کو کم کرتی ہیں۔ نرم بیکنگ میں، حل کا استحالہ قابل پیشن گوئی ہوتا ہے، اور کرٹیکل ڈائمنشن کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے۔ سخت بیکنگ میں، کوئی دباؤ یا الگ ہونے کی صورت حال پیدا نہیں ہوتی۔ اس کے نتیجے میں، دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہوجاتی ہے، پہلی بار ہی چپس تیار ہوجاتی ہیں، اور ہر شفٹ میں حرارتی استحکام برقرار رہتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوجاتی ہے، کیوں کہ لیمپ صرف ضرورت کے وقت ہی گرم ہوتا ہے، اور درجہ حرارت کو کم سے کم تبدیلی کے ساتھ برقرار رکھتا ہے۔
منصوبہ بندی کے لئے ضروری باتیں
ان لیمپوں کے لئے مناسب ریفلیکٹرز اور مستحکم پاور سپلائی کی ضرورت ہے؛ آؤٹ پٹ وولٹیج کی تغیرات اور حرارتی تغیرات سے متأثر ہوتا ہے۔ کنٹرول شدہ ٹھنڈک اور شیلڈنگ کی ضرورت ہے، تاکہ بیرونی انفرارویل شعاعیں دوسرے مواد پر اثر نہ ڈالیں۔ مطلوبہ سمت اور فاصلے پر نصب کرنے کے بعد، یہ لیمپ 24/7 کام کرتے رہتے ہیں، لیکن پروسیس کو برقرار رکھنے کے لئے باقاعدگی سے دیکھ بھال کی ضرورت ہے۔