На лінії довжиною 300 мм навіть зміна температури на 0,3°C під час процедури м’якого випалювання може призвести до того, що параметри CD вийдуть за межі допусків, що призведе до втрати всієї партії продукції. Не потрібно додавати ще одну змінну до параметрів термічного управління. Інфрачервоний обігрівач нашої печі для чистих приміщень розроблений таким чином, щоб усунути цю невизначеність.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоні емітери короткохвильового діапазону з швидкою реакцією та точним контролем спектру випромінювання. Це дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні пластинки. Крім того, повторюваність процедур забезпечує стабільність параметрів випалювання в кожній партії продукції.
Корпус обігрівача розроблений для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100: використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, гладкі поверхні, а також система потоку повітря, розроблена з урахуванням наявності частинок у повітрі. Відсутність частинок – це не просто маркетинговий термін; це технічна вимога, яка враховується під час конструкції обігрівача та підтверджується через контроль.
Чому цей обігрівач підходить для виробничих приміщень
Саме тут відбувається обробка фотолітографічних матеріалів: літографія, процедури м’якого та жорсткого випалювання тощо. Інфрачервоне випромінювання забезпечує необхідну термічну реакцію в печі з високою продуктивністю. Крім того, конструкція обігрівача, придатна для чистих приміщень, допомагає зберігати стабільність параметрів процесу.
Результатом є менше втрат продукції, стабільні критичні розміри та передбачувані часи виконання процедур. Також зменшується споживання енергії – обігрівач швидко досягає заданої температури та підтримує її без перевищень.
Що потрібно знати заздалегідь
Обігрівач підключається до стандартних інтерфейсів печей, але теплова маса камери та характер навантаження все одно впливають на однорідність температури.Необхідно точно визначити розташування елементів нагріву та навантаження на пластинку, а також перевірити характер потоку повітря під час інтеграції.
У приміщеннях з обмеженими розмірами розташування елементів нагріву може вимагати незначних корекцій. Ми завчасно надаємо інформацію про умови роботи, щоб піч підходила саме для цього процесу – а не навпаки.