Üretim alanında, bu yumuşak pişirme işlemi sadece bir ısınma adımı değildir. Burada çizgi kalınlığı ve verimlilik ilk kez belirlenir. Sadece birkaç derecelik bir sıcaklık değişikliği bile kritik boyutların kontrolünü bozabilir, yan duvar profilini değiştirebilir ve zaten işlemden geçmiş olan wafları kullanılamaz hale getirebilir. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için kızılötesi yumuşak pişirme lambalarını geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar Kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynakları kullanarak substratı doğrudan ve hızlı bir şekilde ısıtıyoruz. Kapalı döngülü sıcaklık kontrolü sayesinde wafların üzerindeki sıcaklık ±0,1°C aralığında sabit tutuluyor. Kuvars pencere ve yansıtıcı yapılar, termal profili stabil tutarak her wafta aynı termal koşulların sağlanmasını sağlıyor. Tüm sistem, düşük gaz salınımı olan malzemeler kullanılarak ve parçacık üretimini mümkün olduğunca sıfıra indiren bir tasarım ile temiz oda koşullarına uygun olarak yapılmıştır.
Gerçek üretim süreçlerinde neden faydalıdır? Lambalar, üretim sürecinin içine yerleştirildiğinden, yumuşak pişirme işlemi sürekli ve tutarlı olur; ne aşırı ısınma ne de sıcaklık gecikmesi olur. Wafların kurutulması, fotorezistin pişirilmesi ve temizlik sonrası kurutma işlemleri de aynı şekilde tekrarlanabilir şekilde gerçekleşir. Paketleme hatlarında ise kesin sıcaklık kontrolleri sayesinde daha az yeniden işleme gerekliliği olur. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; çünkü lamba belirlenen sıcaklığa hızla ulaşır ve orada sabit kalır.
Planlamanız gereken şeyler Montaj işlemi, cihazın arayüzüyle uyumlu olmasına bağlıdır; yani bağlantı tipi ve fiziksel mesafe önemlidir. Lambalar Class 1–100 temiz odalarda çalışır, ancak çıkışın sabit kalabilmesi ve sıcaklık değişikliklerinin engellenmesi için ışık kaynağının bulunduğu bölgede temiz ve kuru hava akışı gereklidir. Işık kaynağı değiştirildikten sonra kısa bir hazırlık süresi beklenir ve tutarlılığı korumak için periyodik kalibrasyonlar yapılmalıdır.