Как остановить утечку энергии на этапе промывки полупроводниковых пластин
Давайте будем честны: именно на этапе промывки в производственных помещениях для изготовления полупроводников теряется большое количество энергии. На протяжении многих лет мы использовали методы, связанные с нагревом больших объемов горячего воздуха или использованием конвекции для сушки пластин. Это медленный и неэффективный способ; к тому же он требует огромного количества энергии, которая в конечном итоге теряется зря.
Мы нашли более эффективный способ. Вместо нагрева всей комнаты мы используем водонепроницаемые инфракрасные лампы, которые направляют свет непосредственно на поверхность пластин. Это гораздо более эффективный подход.
Борьба с влагой
Работа в условиях высокой влажности представляет серьезную проблему для электронных устройств. Если даже одна капля воды попадает на горячий нитей лампы, она может её уничтожить. Поэтому мы используем специальные корпуса из кварца и герметичные уплотнители, чтобы влага не попадала к электродам. Все это делается для того, чтобы сама лампа оставалась сухой, в то время как окружающая среда остается в состоянии «сауны».
Самое приятное — эти лампы быстро нагреваются. Всего за несколько секунд. Не нужно оставлять лампы в режиме полной работы, пока вы ждете следующую партию пластин. Вы просто включаете их, и они достигают нужной температуры. Это поможет сэкономить на счетах за электроэнергию.
Разработано для реальных условий эксплуатации
Водонепроницаемость критична не только для стеклянных корпусов. Из-за высокой влажности и химикатов, используемых при промывке, корпуса подвергаются значительному износу. Мы используем материалы, устойчивые к коррозии, чтобы оборудование не разрушалось после нескольких месяцев intensивной эксплуатации.
Если у вас старое оборудование, эти лампы можно использовать в качестве замены. Просто замените старые лампы на эти — и все будет в порядке.
Кроме того, есть еще одно преимущество: отсутствие воздушных потоков. Поскольку инфракрасное излучение не создает воздушных потоков, частицы не попадают на пластины. Таким образом, процесс сушки происходит более чисто и без шума.
Проблема: контроль температуры
Но есть одна проблема: инфракрасные лампы нагреваются до очень высоких температур. Пока пластины сушатся, корпус лампы испытывает сильное нагревание. Если не обеспечить должную систему охлаждения, электроника может быть повреждена. Это простой компромисс: вы экономите энергию на процессе сушки, но при этом должны обеспечить правильный поток воздуха, чтобы провода не перегревались.
Но если вы найдете правильный баланс, можно полностью отказаться от громоздких и энергоемких вентиляторов. Это, вероятно, самый быстрый способ сделать производственные процессы более экологичными, не жертвуя скоростью.