Сделаем процесс нагрева полупроводников более экологичным (и менее проблемным)
Существует реальная необходимость в достижении углеродной нейтральности при производстве чипов. Мы видим явный отказ от старых методов нагрева с использованием тепловых печей в пользу инфракрасного нагрева. Это логично – зачем тратить энергию на нагрев всей огромной камеры, если можно направить тепло прямо на поверхность пластины?
Но есть один недостаток: чтобы это сработало, провода должны быть высококачественными. В частности, провода, покрытые тефлоном (ПТФЭ). Если такой материал не сможет выдерживать постоянные колебания температуры между очень низкими и очень высокими значениями, вся система разрушится.
Проблемы, связанные с нагревом
Внутри таких нагревателей провода находятся в непосредственной близости от интенсивных инфракрасных ламп. Температура там очень высока.
Мы используем ПТФЭ, потому что он сохраняет свои свойства даже при температуре около 260°C. Если использовать обычный ПВХ или силикон, возникнут проблемы: они будут плавиться или начнут выделять газы, что является серьезной проблемой в чистой комнате. К тому же ПТФЭ обеспечивает изоляцию, что предотвращает короткие замыкания в тех местах, где температура самая высокая.
Необходимы провода, которые не сужаются и не трескаются после тысяч циклов нагрева. Ведь если изоляция сломается, возникают проблемы с электрическим током. А это означает, что оборудование перестанет работать, а этого никто не хочет.
Компромиссы
Поскольку речь идет о высокощелочных нагрузках, важна также прочность проводов. Тефлон имеет низкий коэффициент трения, поэтому он легко проходит через узкие каналы в корпусе оборудования без задержек. Однако он не идеален. ПТФЕ жесткий, он не гнется так легко, как силикон. Если попытаться вставить его в слишком тесный корпус, это приведет к значительному напряжению на контактах ламп. Необходимо оставить достаточно места для расположения проводов.
Итог
Когда мы сочетаем инфракрасные системы с проводами из ПТФЭ, мы избегаем расточительства энергии на бесполезное нагревание. Процесс нагрева происходит быстрее, расход энергии снижается. Таким образом, мы можем достичь целей экологичного производства, не снижая скорости работы оборудования.