Почему мы переходим на использование инфракрасного излучения для обработки полупроводников
Долгое время мы считали, что для нагрева полупроводников лучше всего использовать системы циркуляции горячего воздуха. Но будем честны: это медленный процесс. Воздух — плохой проводник тепла. Приходится ждать минуты, пока воздух нагреется, а затем ещё дольше — пока тепло проникнет в сам слой полупроводника. Это серьезно замедляет процесс обработки.
Отказ от посредников
Инфракрасное излучение работает иначе. Вместо нагрева воздуха оно использует электромагнитное излучение для передачи энергии непосредственно в материал. Этот процесс происходит почти мгновенно. Достаточно лишь включить устройство — и тепло уже готово к использованию. Нет необходимости ждать, пока камера нагреется.
Экономия пространства
Если вы когда-либо были в помещении с системами циркуляции воздуха, вы знаете, сколько там всего: огромные вентиляторы, сложные системы трубопроводов, а также большие изолированные корпуса, предназначенные для предотвращения утечки тепла. Все это занимает слишком много места. Инфракрасные лампы позволяют сократить объем всех этих элементов. Поскольку энергия направляется непосредственно на объект обработки, не тратится энергия на нагрев остальных частей устройства. Это делает процесс более эффективным.
Недостатки
Но это не волшебная палочка. Нельзя просто заменить одну систему другой и все будет в порядке. Инфракрасное излучение требует прямого контакта с поверхностью обрабатываемого материала. Если у детали есть сложные формы или углубления, излучение не сможет до них достичь. В результате возникают «холодные точки». Необходимо тщательно спланировать расположение ламп, чтобы тепло распределялось равномерно. Кроме того, инфракрасное излучение действует очень интенсивно. Датчики должны быть настроены идеально, иначе температура может превысить заданную до того, как вы это осознаете.
Вывод
В конечном итоге речь идет о скорости обработки. Если можно сократить время обработки каждого цикла на несколько секунд, это имеет большое значение. Больше волн в час означает, что вся логика производственной линии работает в вашу пользу.