Op de productieafdeling zijn de ‘zachte’ en ‘harde’ bakprocessen geen simpelweg ‘verhittingsschappen’. Het gaat om controlepunten in het proces, waarbij een verschil van 2°C al kan leiden tot problemen met de nauwkeurigheid van de productie. De 2700W sterke infraroodbuis is ontworpen om de warmteoutput stevig onder controle te houden, zodat deze consequent blijft, ongeacht het aantal batches of wafers dat wordt verwerkt.
Wat technisch gezien belangrijk is, zijn de snelheid van reactie en de herhaalbaarheid van het proces. De buis maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodstraling, die door een transparante kwartsomhulling wordt geleid. Hierdoor reageert de buis snel, met weinig thermische inertie en gefocuste warmte. Met 2700W kan er voldoende vermogen worden gegenereerd om de temperatuur snel te regelen, terwijl de gewenste tempatuur constant blijft.
In de praktijk betekent dit dat de temperatuur op het oppervlak van de wafers binnen ±0,1°C moet blijven, en dat de bakprofielen van batch tot batch consistent zijn. De kwartsomhulling is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100: de oppervlakken leveren geen deeltjes af en veroorzaken ook geen uitstoting van organische stoffen in de kamer.
Dit is belangrijk in de lithografie: een consistente ‘zachte’ bak zorgt ervoor dat solventen worden verwijderd zonder dat het oppervlak beschadigd raakt. Een consistente ‘harde’ bak bereidt het oppervlak van de wafers voor op het eten of implanteren, zonder dat er reflow optreedt. Met 2700W blijft de bakcurve stabiel, neemt de cyclusduur af en daalt het aantal defecte producten als gevolg van temperatuurschwankingen.
Het resultaat is een hogere productiecapaciteit en minder herwerkingen. Bovendien wordt er minder energie verbruikt per wafel, omdat de buis de warmte rechtstreeks overdraagt en zich snel aanpast. Hierdoor is de controle over de dikte van het product beter mogelijk, en zijn er veel minder problemen veroorzaakt door thermische oneffenheden.
Er zijn nog enkele praktische zaken om rekening mee te houden. Pas de buis aan op de geometrie van de reflectoren en de PID-instellingen van de controller – onjuiste instellingen kunnen leiden tot hotspots. Controleer ook of de spanning en de connectors compatibel zijn met uw apparatuur. Plan bovendien goed om ESD-problemen te voorkomen tijdens de installatie.
Deze buizen hebben een beperkte levensduur bij continu gebruik. Stel daarom tijden in voor preventieve vervanging. Op deze manier voorkomt u onverwachte stilstand en blijft de productielijn draaien.