Hentikan cara memanaskan peralatan anda secara langsung: Cara yang lebih bijak untuk mengeringkan wafer MEMS
Ketika anda ingin mengeringkan wafer sensor MEMS, anda pasti ingin agar kelembapan dihilangkan sepenuhnya. Namun masalahnya ialah kebanyakan orang cuba melakukannya dengan memanaskan semua bahagian peralatan tersebut.
Pemanasan konvensional atau pemanasan serata akan menjadikan alat semikonduktor yang mahal itu seperti ketuhar besar. Dinding dalaman peralatan tersebut akan menyerap haba yang berlebihan, dan ini merupakan masalah besar. Akibatnya, dinding tersebut menjadi terlalu panas sehingga boleh membahayakan pengendali peralatan tersebut atau merosakkan komponen dalaman peralatan tersebut. Ini merupakan situasi yang kacau.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: pemanasan inframerah yang tertumpu.
Bagaimana ia berfungsi
Bayangkan ia seperti lampu suluh, tetapi yang mengeluarkan haba. Daripada memanaskan udara, cahaya inframerah akan menyinari permukaan wafer secara langsung. Dengan menggunakan panjang gelombang yang sesuai—biasanya gelombang pendek atau sederhana—tenaga tersebut akan sampai ke permukaan wafer sahaja. Ia tidak akan merebak ke bahagian lain peralatan tersebut. Kami menggunakan kapsul kuarsa dan reflektor untuk memastikan sinar tersebut tetap tertumpu pada permukaan wafer. Haba tersebut hanya akan sampai ke tempat yang diperlukan sahaja.
Cabaran yang perlu dihadapi
Untuk mengeringkan wafer dengan cepat, anda memerlukan banyak tenaga dalam ruang yang sangat kecil. Kepadatan haba yang tinggi memang bagus untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi ia mempunyai kelemahan tersendiri.
Lampu berkuasa tinggi ini akan menjadi sangat panas di bahagian terminalnya. Jika anda menyambungkannya tanpa memeriksa sama ada kabel dan sambungan tersebut mampu menanggung arus yang tinggi, maka soket tersebut akan rosak. Ini merupakan kesilapan yang biasa berlaku.
Walaupun sinar tersebut tertumpu, anda masih perlu meletakkan kipas penyejuk di sekitar lampu tersebut untuk mengeluarkan haba. Jangan abaikan langkah ini.
Kelebihan bagi pasukan anda
Yang terbaik ialah tiada lagi “kesan ketuhar” di dalam bilik tersebut. Oleh kerana dinding tidak menyerap haba yang berlebihan, bahagian luar peralatan akan tetap sejuk. Anda tidak perlu menggunakan pelindung haba yang besar, atau risau tentang pekerja anda yang cedera akibat haba yang berlebihan.
Ia merupakan perubahan cara berfikir yang mudah. Jangan panaskan seluruh bilik, cukup panaskan hanya bahagian yang diperlukan sahaja.