웨이퍼 가열기가 엉망이 되는 것을 막아보세요.
고부하 환경에서는 램프가 파손되는 것은 큰 문제입니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 파편들을 청소하는 데도 많은 시간이 걸립니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 금속 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그러면 웨이퍼는 사용할 수 없게 되고, 청소 작업에 수시간을 할애해야 합니다.
우리는 이런 상황을 방지하기 위해 특별한 가열기를 만듭니다.
열 스트레스 대응
대부분의 램프는 지속적인 팽창과 수축을 견디지 못해 고장납니다. 이를 해결하기 위해 우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 소재는 매우 튼튼하여, 급격한 온도 변화에도 균열이 생기지 않습니다.
또한, 관의 두께도 신중하게 조절해야 합니다. 열이 효율적으로 전달되도록 해야 하지만, 동시에 관 자체도 튼튼해야 합니다. 만약 얇은 관에 너무 높은 전력을 공급하면 전극이 손상되고 밀봉도 제대로 되지 않습니다.
안전 장치 마련
아무리 좋은 석영을 사용해도 문제가 생길 수 있습니다. 그래서 우리는 단 하나의 보호층에만 의존하지 않습니다. 우리는 추가적인 보호층을 사용합니다. 즉, 필라멘트를 감싸는 보호용 커버나 특수 코팅을 사용하는 것입니다. 내부 관이 파손되더라도 파편들은 커버 안에 남아 있어 웨이퍼에 닿지 않습니다. 이것은 마치 클린룸을 위한 보험과 같습니다.
안정적인 전력 공급
전압의 급격한 변동도 위험합니다. 우리는 단자 부분의 밀봉을 강화하고 정밀하게 맞는 커넥터를 사용하여 접촉점에서의 아크 현상을 방지합니다.
왜 이게 중요한가요? 왜냐하면 느슨한 연결 부위는 과열을 유발하기 때문입니다. 그러한 과열로 인해 석영이 점차 약해지고, 결국 균열이 생깁니다.
솔직히 말해서, 이러한 안전 장치들을 추가하면 열원과 웨이퍼 사이에 약간의 물질이 생깁니다. 그래서 완전히 노출된 램프에 비해 열 흐름이 약간 줄어듭니다. 따라서 공정을 원활하게 유지하기 위해 전력을 조금 높이거나 처리 시간을 조절해야 할 수도 있습니다. 하지만 이는 주말에 청소 작업을 할 필요가 없도록 하는 작은 대가일 뿐입니다.