클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
웨이퍼를 가공할 때, 단 한 알의 먼지라도 큰 문제가 됩니다. 그 먼지는 웨이퍼의 품질을 저하시킬 뿐만 아니라, 생산성에도 악영향을 미칩니다. 문제는 대부분의 일반적인 가열 요소들이 “오염되어 있다”는 것입니다. 사용해야 할 순간에 오히려 작은 입자들이 방출됩니다.
그래서 우리는 적외선 램프에 고순도의 합성 석영을 사용하기로 했습니다. 이 방식이 훨씬 더 효과적입니다.
왜 석영이 중요한가?
우리는 거의 불순물이 없는 융합 실리카를 사용합니다. 낮은 품질의 석영을 사용해본 적이 있다면, 열이 가해지면 석영이 흐릿해지거나 파괴된다는 것을 알고 있을 것입니다. 하지만 우리가 사용하는 석영은 그런 현상이 전혀 없습니다. 화학적으로 안정적이어서 공기와 반응하지 않으며, 웨이퍼 위에 입자가 떨어지는 일도 없습니다.
또한, 이 램프는 단파 적외선을 사용하기 때문에 열이 웨이퍼 표면에 빠르게 전달됩니다. 기판이 오랫동안 고온에 노출되지 않기 때문에, 열應력이나 웨이퍼의 변형에 대한 걱정을 할 필요가 없습니다. 매우 효율적입니다.
누수를 막는 방법
대부분의 오염은 램프의 중앙에서 발생하는 것이 아니라, 램프의 양쪽 끝에서 발생합니다. 우리는 특수한 밀폐 장치와 고품질의 전극을 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 부팅 과정에서 금속 증기가 누출되는 일도 없습니다.
또한, 램프의 외양도 설계하여 청정실 내의 공기 흐름을 방해하지 않도록 했습니다. 소용돌이가 생겨 먼지가 발생하는 것을 막아야 합니다.
주의사항: 전력 밀도에도 주의해야 합니다. 이 램프는 빠르게 목표 온도에 도달하지만, 그만큼 열량도 많습니다. 적절한 보호 장치가 있는지 반드시 확인해야 합니다. 케이스에 환기구가 없다면, 열이 모든 곳으로 퍼져 센서의 수치에 영향을 줄 수 있습니다.
램프를 설치하는 방법
전체 장비를 다시 설계할 필요는 없습니다. 우리는 이 램프들을 기존의 가열 장치에 그대로 대체할 수 있도록 설계했습니다.
단, 램프를 다룰 때는 매우 주의해야 합니다. 석영 표면에 단 한 번의 지문이라도 남으면 열점이 생길 수 있으며, 그로 인해 램프가 과열될 수 있습니다.
램프를 항상 깨끗하게 유지한다면, 수천 회의 작동 후에도 여전히 일관된 성능을 발휘할 것입니다.