Hentikan kebiasaan memanaskan peralatan Anda: Cara yang lebih cerdas untuk mengeringkan wafer MEMS
Saat Anda ingin mengeringkan wafer sensor MEMS, yang penting adalah menghilangkan kelembapan di dalamnya. Tapi masalahnya adalah kebanyakan orang mencoba melakukannya dengan cara memanaskan seluruh bagian peralatan tersebut.
Pemanasan konvensional atau pemanasan searah umumnya akan membuat peralatan semikonduktor yang mahal ini berubah menjadi “oven” raksasa. Dinding-dindingnya menyerap panas yang dihasilkan, sehingga hal ini sangat merugikan. Akibatnya, dinding-dinding tersebut menjadi terlalu panas dan bisa membahayakan operator atau merusak komponen-komponen internal peralatan tersebut. Sungguh kacau.
Kami menemukan cara yang lebih baik: pemanasan inframerah searah.
Bagaimana cara kerjanya?
Bayangkan saja seperti senter, tetapi yang digunakan adalah panas. Alih-alih memanaskan udara agar wafer menjadi panas, lampu inframerah mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan wafer. Dengan memilih panjang gelombang yang tepat—biasanya gelombang pendek atau sedang—energi tersebut akan mengenai wafer dan sisa cairan di permukaannya saja. Energi tersebut tidak akan menyebar ke bagian lain dari peralatan. Kami menggunakan kemasan kuarsa dan reflektor untuk memastikan sinar panas tetap fokus pada targetnya. Panasnya hanya sampai ke tempat yang dibutuhkan, dan tidak ke tempat lain.
Hal-hal yang perlu diperhatikan
Namun, ada tantangan yang perlu dihadapi. Untuk mengeringkan wafer dengan cepat, diperlukan daya yang besar dalam ruang yang sempit. Kepadatan panas yang tinggi memang bagus untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi hal ini memiliki efek negatifnya. Lampu berdaya tinggi tersebut akan menjadi sangat panas di bagian terminalnya. Jika Anda langsung menyambungkannya tanpa memeriksa apakah kabel dan konektor Anda mampu menahan arus listrik yang besar, maka soketnya akan meleleh. Ini merupakan kesalahan yang sering terjadi.
Meskipun sinar panasnya bersifat searah, Anda tetap perlu menempatkan kipas pendingin di sekitar lampu tersebut agar panasnya dapat disalurkan keluar. Jangan abaikan hal ini.
Lingkungan kerja yang lebih aman bagi tim Anda
Yang terbaik adalah tidak adanya efek “oven” di dalam ruang pemrosesan. Karena dinding-dindingnya tidak menyerap panas berlebih, bagian luar mesin tetap dingin saat disentuh. Anda tidak perlu menggunakan perlindungan termal yang berat, atau khawatir teknisi Anda akan terbakar saat memperbaiki mesin tersebut.
Ini hanyalah perubahan pola pikir yang sederhana. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, cukup panaskan bagian yang memang perlu dipanaskan saja.