בחדר הייצור, אפיית פוטוריזיסט שנודדת אפילו ב-0.2°C יכולה להזיז ממדי מפתח ולשלוח הרבה מאוד ופרים לערמת המיחזור. בנינו את מחמם העגלה לחדר נקי של חצי מוליכים כדי להוציא את המשתנה הזה מהמשוואה.
מה שחשוב, טכנית, הוא אחידות הטמפרטורה על פני העומס—±0.1°C—ואי-שליטה חוזרת על רמות החימום הן עבור פרופילי אפייה רכה והן עבור פרופילי אפייה קשה. המחמם משתמש בארכיטקטורה דקה, תואמת לחדרים נקיים, עם רכיבים סגורים וחומרים בדרגת HEPA כדי לשמור על יצירת חלקיקים קרוב לאפס. זרימת האוויר היא לא טורבלנטית, כך שאין רעש מכשירי ליתוגרפיה סמוכים או סיכון לזיהום פני השטח של הוופר. לולאת הבקרה מכוונת להתייצב במהירות לאחר פתיחת הדלת, משום שהחלפות קו אינן מחכות ליציבות תרמית.
הנה למה זה עובד היכן שזה חשוב. המחמם יושב בעגלה, מכין את הוופרים לפני שהם מגיעים לפלטת החימום. זה נותן לך תקציב תרמי יציב לפני החשיפה והאפייה, פחות עבודות חוזרות, ובקרת CD מדויקת יותר. תאימות לחדר נקי—חומרים וגימורים בדרגת Class 1 עד 100—שומרת על ספירת חלקיקים נמוכה ומגנה על התשואה. אתה גם חוסך באנרגיה, מכיוון שהעגלה שומרת על חום במקום להסתמך על התנור הראשי לכל חימום מחדש.
כמה הערות מעשיות. ההתקנה דורשת אספקת כוח נקי ייעודית והארקה נכונה כדי למנוע רטט מיקרו ורעש חשמלי מהשפעה על חיישן הבקרה. שטח הכניסה קומפקטי, אך יש לשמור על רווח סביב דרכי זרימת האוויר; אחרת האחידות נפגעת. ותכנן כיול שגרתי ברמת העגלה. אפילו המחמם הטוב ביותר נודד עם הזמן ללא חלון מדידות מוגדר.