בשלב האפייה הרכה, מדובר לא בשלב הכנה רגיל. זהו שלב בו נקבעים לראשונה הממדים של קווי החיבור והאיכות של הוופרים. שינוי של מספר מעט של מעלות בטמפרטורה יכול לפגוע בשליטה בממדים החשובים, לשנות את צורת הדפנות של הוופרים, ולגרום לפסילת וופרים שכבר עברו את שלבי העיבוד הקודמים. ייצרנו את נורות האפייה הרכה באמצעות קרינת אינפרא-אדום, כדי להפחית את השינויים האלו.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, המחממים את הוופרים במהירות וביעילות. שליטה אוטומטית בטמפרטורה מבטיחה שהטמפרטורה תישאר יציבה ברמה של ±0.1°C על פני כל שטח האפייה. החלון העשוי קוורץ והמראות שנמצאים במערכת מבטיחים יציבות טמפרטורית, כך שכל וופר יקבל אותו ערך טמפרטורי, בכל סדרת ייצור. כל המערכת מיועדת לשימוש בחדרי ניקיון מוגבר, עם שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים, ועם עיצוב שמפחית את ייצור החלקיקים ככל האפשר.
למה זה טוב בתהליכים אמיתיים? הנורה פועלת באותו טווח טמפרטורות כמו שאר הציוד, כך שהאפייה הרכה נשארת עקבית – ללא סטיות או עיכובים טמפרטוריים. היא מאפשרת ייבוש של הוופרים, עיבוד של החומרים השונים, וייבוש לאחר הניקוי, עם רמת עקביות גבוהה. בקווי אריזה, היא מאפשרת ייבוש מבוקר, עם שליטה טובה בטמפרטורה. התוצאה היא פחות צורך בעיבוד מחדש, חלוקה יותר אחידה של הוופרים, וזמני עיבוד צפויים. בנוסף, השימוש בנורה מפחית את צריכת האנרגיה, מכיוון שהיא מגיעה לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומרת עליה ללא צורך בהפעלה חוזרת.
מה צריך לקחת בחשבון בפועל? ההתקנה כוללת התאמה של החיבורים של הנורה – סוג החיבור והמרחק בין החלקים השונים. הנורה יכולה לפעול בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, אך יש צורך בזרם אוויר נקי ויבש סביב חלון הפליטה, כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה. לאחר החלפת הנורה, יש צורך בתקופת התאמה קצרה, וכן בכליות תקופתיות כדי לשמור על הרמה הרצויה של הטמפרטורה.