چرا ما به استفاده از تکنولوژی مادون قرمز برای فرآیندهای نیمههادی روی آوردهایم؟
برای مدت طولانی، ما فقط این روش را پذیرفته بودیم که برای گرم کردن نیمههادیها، باید از گردش هوای گرم استفاده کرد. اما باید صادقانه بگوییم که این روش بسیار آهسته است. هوا، رسانای بسیار ضعیفی است؛ بنابراین باید دقایق زیادی منتظر بمانیم تا هوا گرم شود، و سپس مجبوریم حتی مدت زمان بیشتری صبر کنیم تا گرما واقعاً به قطعه نیمههادی منتقل شود. این روش، کاملاً باعث کندی فرآیند تولید میشود.
حذف واسطه
تکنولوژی مادون قرمز روش متفاوتی دارد. در این روش، به جای گرم کردن هوا، از تابش الکترومغناطیسی برای منتقل کردن انرژی مستقیماً به ماده استفاده میشود. این کار تقریباً بلافاصله انجام میشود؛ کافی است کلید را فشار دهیم و گرما بلافاصله در دسترس خواهد بود. دیگر نیازی نیست منتظر بمانیم تا محیط گرم شود.
صرفهجویی در فضا
اگر تا به حال در سالنهایی با سیستمهای گردش هوا بودهاید، میدانید که چقدر فضای زیادی برای نصب پمپها، لولهها و جعبههای عایقبندی لازم است تا گرما از آنجا خارج نشود. این روش، فضای زیادی را اشغال میکند. اما لامپهای مادون قرمز اجازه میدهند که همه چیز کوچکتر شود. از آنجایی که انرژی مستقیماً به قطعه نیمههادی منتقل میشود، دیگر نیازی نیست انرژی زیادی برای گرم کردن بخشهای دیگر دستگاه صرف شود. این روش، کارآمدتر است.
معایب
البته، این روش هم جادویی نیست؛ نمیتوانیم به سادگی یکی را جایگزین دیگری کنیم. تکنولوژی مادون قرمز نیازمند دید مستقیم است؛ اگر قطعه نیمههادی شکل عجیبی داشته باشد، تابش نمیتواند به آن نقاط برسد. در نتیجه، نقاط سردی در قطعه ایجاد خواهد شد. بنابراین باید مراقب باشیم که لامپها در جای مناسبی قرار گیرند تا همه چیز به طور یکنواخت گرم شود.
همچنین، تابش مادون قرمز بسیار قوی و سریع است؛ بنابراین حسگرها باید به درستی تنظیم شوند، در غیر این صورت ممکن است دمای مورد نظر را زودتر از حد مطلوب به دست آوریم.
نتیجه نهایی
در نهایت، هدف اصلی، افزایش سرعت فرآیند تولید است. اگر بتوانیم چند ثانیه از هر چرخه تولید کم کنیم، این موضوع در کل فرآیند تولید تأثیر مثبت خواهد داشت. تولید تعداد بیشتری از ویفرها در ساعت، به معنای تغییر مثبت در محاسبات مربوط به خط تولید است.