In der Lithografieabteilung ist eine Temperaturänderung von 1°C während des Aufheizvorgangs des Photoresists keine „kleine Abweichung“. Es handelt sich dabei vielmehr um einen Einfluss auf die Qualität der Produkte – ganz einfach. Wafer haben strenge Anforderungen an die Temperaturkontrolle. Wenn der Heizer im Behälter nicht in der Lage ist, eine konstante Temperatur zu gewährleisten, entstehen Fehler sowie Probleme bezüglich der Wiederholgenauigkeit. Wir haben diesen Heizer so konstruiert, dass er den Anforderungen der Produktionsumgebung entspricht: Die Temperatur bleibt konstant, unabhängig von den Bedingungen im Raum.
Was technisch wichtig ist:
Der Heizer nutzt Kurzwellen-Infrarotelemente in einer Quarzkapsel – dadurch wird eine schnelle Reaktion sowie eine geringe thermische Trägheit erreicht. Die Temperatur bleibt über die gesamte Belastung des Behälters bei ±0,1°C konstant. Zudem bleibt die Wiederholgenauigkeit hoch genug, sodass die Temperaturen bei verschiedenen Chargen gleich bleiben. Die Anforderungen eines Reinraums werden durch Materialien der Klasse 1–100 sowie eine Konstruktion erfüllt, die das Austreten von Gaskanzen und die Entstehung von Partikeln verhindert. Der Heizer kann über Standardanschlüsse mit den Steuerungssystemen des Behälters verbunden werden – dadurch bleibt die Leistung rund um die Uhr stabil, was zu weniger Abweichungen und besserer Schutz der thermischen Prozesse führt.
Warum der Heizer in dem Behälter funktioniert:
Im Behälter hält der Heizer den Photoresist sowie die damit verbundenen Materialien genau bei der vom Herstellungsprozess vorgeschriebenen Temperatur. Dadurch wird die Wartezeit bis zum Erreichen der Zieltemperatur verkürzt, die Kontrolle über die kritischen Dimensionen verbessert und die Menge an Ausschuss reduziert. Der Energieverbrauch bleibt niedrig, da das System schnell das gewünschte Temperaturniveau erreicht und es dort hält – dadurch wird die Belastung für die Versorgungsanlagen verringert. Die Zuverlässigkeit zeigt sich in einer höheren Betriebszeit: Weniger Störungen, weniger Wartungsarbeiten und eine konstante Produktionsrate.
Praktische Details, die beachtet werden müssen:
Bei der Installation muss auf den Luftstrom sowie die Belüftung im Behälter geachtet werden. Der Heizer funktioniert nur dann richtig, wenn die Rücklaufströme gut gesteuert werden und die Lüftungseinrichtungen richtig dimensioniert sind. Er funktioniert mit den meisten Behälterplattformen – doch falls es sich um ältere Steuerungssysteme handelt, sollte die Kompatibilität vor Ort überprüft werden. Es wird etwas mehr Zeit benötigt, um das PID-Profil einzustellen – etwa einen Tag. Danach läuft der Prozess mit der nötigen Wiederholgenauigkeit ab.