Správné nastavení teploty na waferu
Když pracujete s infračervenými lampami v čisté místnosti, cíl je jednoduchý: dosáhnout takové teploty, jaká je potřeba právě tam. Nechcete plýtvat energií a rozhodně nechcete poškodit prostředí kolem sebe. Proto používáme reflexory pokryté zlatem. Ty zajišťují, že infračervené záření dopadne přímo na wafer, místo aby zbytečně zahřívalo samotnou konstrukci lampy.
Proč zlato?
Většina lidí používá hliníkové reflexory, ale hliník ve skutečnosti pohlcuje část infračerveného spektra. Zlato je jiné – je neuvěřitelně reflexivní v infračervené oblasti, což znamená, že teplo je přenášeno mnohem efektivněji.
Každý watt elektřiny, který vložíte do systému, skutečně působí na povrch waferu. Je to prostě efektivnější.
Méně tepla, méně napětí
Při výběru těchto lamp se opravdu zaměřujeme na hustotu energie. Díky velmi účinnému zlatému povlaku můžete dosáhnout požadovaných teplot bez nutnosti zvyšování výkonu lampy.
To je obrovská výhoda pro váš HVAC systém – vaše čistá místnost zůstává chladnější, protože lampy neuvolňují teplo do vzduchu. Celá místnost tak nepůsobí jako pec.
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby nahradily vaše stávající zařízení. Ale pozor: protože jsou mnohem efektivnější, vaše wafery se budou zahřívat rychleji, než jste zvyklí. Budete muset upravit své regulační systémy, abyste omylem nenavodili nadměrnou teplotu.
Udržování čistoty
Jelikož se tyto lampy nacházejí v čisté místnosti, odstranili jsme veškeré materiály, které by mohly způsobit uvolňování prachových částic. Nemůžeme dovolit, aby kontaminanty poškodily vaše wafery. Také uzavřeme zlatou vrstvu, aby se neoksidovala.
Buďte s nimi opatrní. Pokud se povlak poškrábá nebo se na něj dostane olej, začnete vidět nerovnoměrné rozložení tepla na povrchu waferu.
Udržujte je čisté. A prosím, používejte pouze schválené rozpouštědla. Nechcete přece omylem odstranit zlatou vrstvu.