ফ্যাব ফ্লোরে, এমন একটি ফটোরেজিস্ট বেক যা 0.2°C পর্যন্ত বিচলিত হতে পারে তা গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি পরিবর্তন করতে পারে এবং প্রচুর ওয়েফারকে স্ক্র্যাপ পাইলের দিকে পাঠাতে পারে। আমরা সেই পরিবর্তনশীলতাকে সমাধান করার জন্য সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুম ট্রলি হিটার তৈরি করেছি।
টেকনিক্যালভাবে গুরুত্বপূর্ণ হল লোডের মধ্যে তাপমাত্রার সমতা—±0.1°C—এবং সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইলের জন্য পুনরাবৃত্তিযোগ্য র্যাম্প নিয়ন্ত্রণ। হিটার একটি লো-প্রোফাইল, ক্লিনরুম-সঙ্গতিপূর্ণ স্থাপত্য ব্যবহার করে সীলমোহরযুক্ত উপাদান এবং HEPA-গ্রেড উপকরণ সহ যাতে কণার উৎপাদন যতটা সম্ভব শূন্যে রাখা যায়। বাতাসের প্রবাহ ল্যামিনার, টার্বুলেন্ট নয়, তাই আপনি কাছের লিথোগ্রাফি টুলগুলিকে বিঘ্নিত করেন না বা ওয়েফার পৃষ্ঠে দূষণ ঘটানোর ঝুঁকি নেন না। কন্ট্রোল লুপ দরজা খোলার পর দ্রুত স্থির হতে টিউন করা হয়, কারণ লাইন পরিবর্তনগুলি তাপীয় স্থিরতার জন্য অপেক্ষা করে না। এটি যেখানে গুরুত্বপূর্ণ সেখানে কেন এটি কাজ করে। হিটার ট্রলিতে বসে থাকে, ওয়েফারগুলিকে গরম প্লেটে যাওয়ার আগে পূর্ব-শর্তে নিয়ে আসে। এটি আপনাকে এক্সপোজার এবং বেকের জন্য একটি স্থিতিশীল তাপীয় বাজেট দেয়, পুনরায় কাজের সংখ্যা কমায় এবং সিডি নিয়ন্ত্রণের কঠোরতা বাড়ায়। ক্লিনরুমের সামঞ্জস্য—ক্লাস 1 থেকে 100 রেটেড উপকরণ এবং ফিনিশ—কণার সংখ্যা কম রাখে এবং উৎপাদনকে সুরক্ষা দেয়। আপনি শক্তি সাশ্রয় করেন, কারণ ট্রলি গরম করতে প্রধান ওভেনের উপর নির্ভর না করে তাপ ধরে রাখে। কিছু ব্যবহারিক নোট। ইনস্টলেশনের জন্য একটি নিবেদিত ক্লিন পাওয়ার ফিড এবং সঠিক গ্রাউন্ডিং প্রয়োজন যাতে মাইক্রো-ভাইব্রেশন এবং বৈদ্যুতিক শব্দ কন্ট্রোল সেন্সরে প্রবাহিত না হয়। পাদচরণটি সংক্ষিপ্ত, কিন্তু আপনাকে বাতাসের প্রবাহের পথের চারপাশে ফাঁকা রাখতে হবে; অন্যথায় সমতা ক্ষতিগ্রস্ত হয়। এবং ট্রলি স্তরের নিয়মিত ক্যালিব্রেশন পরিকল্পনা করুন। সেরা হিটারও সময়ের সাথে সাথে একটি সংজ্ঞায়িত মেট্রোলজি উইন্ডো ছাড়া বিচলিত হয়।