في قاعة المعالجة، يكفي حدوث انحراف بمقدار 0.1 درجة مئوية أثناء عملية التسخين لإفساد توزيع الحرارة بشكل متساوٍ على السطح المراد معالجته. ومع حدوث مثل هذا الانحراف، يضطر المرء إلى إهدار ساعات طويلة من العمل في عملية الطباعة بالليثوغرافيا. لذلك، قمنا بتصميم جهاز تنظيم الطاقة من نوع SCR للحفاظ على استقرار درجة الحرارة، سواء خلال العمليات المتتالية أو على مدار السنين.
من الناحية التقنية، فإننا نستخدم دائرة تحكم تعتمد على مرحل كهربائي يتم التحكم فيه عبر ردود فعل من اللمبة نفسها. وهذا ما يضمن استقرار الخرج، حتى عندما تتغير جهود الخط الكهربائي. يظل مستوى درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية طوال عملية التسخين، مما يضمن استقرار معدلات التسخين.
تم تصميم هذا الجهاز للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1–100، حيث لا يحدث أي تكون للجسيمات أو تسرب للغازات، وهو ما يتوافق مع المواصفات الصارمة. كما أن تصحيح عامل الطاقة والتحكم الفعال في التبديل يساعد في تقليل استهلاك الطاقة، ويمكن لرأس اللمبة التعامل مع التغيرات الحرارية السريعة دون حدوث تشققات أو فصل في الأجزاء.
السبب في فعالية هذا الجهاز في معالجة الرقاقات هو أن التوزيع الحراري المتساوي هو الذي يضمن التحكم في دقة الصورة وزيادة معدل الإنتاج. ومع وجود جهاز التنظيم من نوع SCR، يظل درجة حرارة اللمبة ثابتة، مما يضمن استقرار خصائص الفوتوريزست من دفعة إلى أخرى. وهذا يوفر بيئة معالجة مستقرة، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة العمل على الدفعات المختلفة، وبالتالي يقلل من الخسائر.
الموثوقية عالية جداً، حيث يمكن استخدام الجهاز 24 ساعة في اليوم، دون أي توقف غير مخطط له، ولفترات طويلة، مع استقرار الخرج لأكثر من 5,000 ساعة. في الواقع، يعني ذلك زيادة معدل الإنتاج دون الحاجة إلى تخزين كميات كبيرة من القطع الاحتياطية.
بعض الملاحظات العملية: يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة نظيف ومستقر، بالإضافة إلى توصيل جيد للأرضية، لمنع تأثيرات التشويش الكهربائي على الجهاز. إذا كنت تريد دمج الجهاز مع أنظمة التسخين القديمة، فمن الضروري إجراء اختبارات قصيرة لضبط معاملات PID المناسبة لحمل اللمبة الخاص بك.
يمكن إتمام عملية الاختبار في يوم واحد. لكن يجب توقع حدوث تغيرات مؤقتة في درجة الحرارة أثناء المعالجة الأولى، حتى يستقر الجهاز. بمجرد الضبط، يصبح الجهاز قادراً على العمل بشكل مستقر، باستخدام أقل قدر ممكن من التدخلات.